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| 產(chǎn)品等級(jí) | 優(yōu)級(jí)品 |
| CAS編號(hào) | |
| 純度 | 98% |
| 別名 | krytox vpf 1525 |
| 密度 | 1.3g/cm3 |
| 產(chǎn)地/廠商 | krytox vpf 1525 |
化學(xué)性能非常穩(wěn)定，耐強(qiáng)酸，包括極強(qiáng)的路易氏酸，耐強(qiáng)堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣，強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)，強(qiáng)氧化劑，還原劑均不發(fā)生反應(yīng)
應(yīng)用：1.用于半導(dǎo)體工業(yè)真空泵油，得到世界*真空泵制造商，如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認(rèn)可。
2.尤其半導(dǎo)體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。
3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中
